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微型真空探針臺

產品簡介

微型真空探針臺設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達<5Pa分子泵可達<-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面,探針尖處由3軸可移動探針手動調節(jié)移動至被測試器件的引腳處,外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

產品型號:10μm探針臺
更新時間:2024-03-29
廠商性質:生產廠家
訪問量:6030
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一、應用領域:東北供應微型真空探針臺主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺,臺面為φ30,臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。


二、作用原理:有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達<5Pa分子泵可達<-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面,探針尖處由3軸可移動探針手動調節(jié)移動至被測試器件的引腳處,外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。


三、微型真空探針臺技術參數(shù):

溫控器

加熱溫度

35-400℃

注意:熱臺溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應分度值做校準。

溫控誤差

±1℃

熱電偶類型

PT100高精度傳感器

溫控表

宇電PID溫控器

程序控溫

1段(可選30段程序控溫表)

加熱功率

≤300W

加熱電源

AC220v

尺寸

230x230x125MM

重量

6kg

真空探針熱臺

腔體材質

304不銹鋼

加工方式

一體式CNC精加工

內腔體尺寸

137X57X21mm  容積165ML

加熱臺尺寸

Φ35mm

觀察窗內徑

Φ45mm

觀察窗材質

高透光石英玻璃

信號輸出頭

SMA母頭   配線 SMA轉BNC  1.5米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

抽氣口

KF16

進氣口

6MM卡套

使用正壓

≤O.05MPa

使用負壓

機械泵可獲得真空≤10Pa  分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa

可擴展配件

氣體液體注射口

4芯電信號接頭

8芯電信號接頭

SMA905 光纖接口

擴展5KV高壓電極

升級30段控溫儀表

移動探針

探針規(guī)格

探針粗Φ0.5mm    探針尖 10μm

上下移動距離

2.5mm

前后移動距離

±10mm

左右旋轉距離

120°




 

 

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